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（原标题：ASML的创业故事：光刻巨头的成长之路）
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起首：骨子由半导体行业不雅察（ID：icbank）转载自ASML，谢谢。
ASML 于 1984 年 4 月 1 日配置，那时名为 ASM Lithography。这家由飞利浦和 ASM International 构成的合股企业的责任是：将飞利浦开发的晶圆步进机 PAS 2000 贸易化。
围绕ASML 创立的传说，姿色了这样一幅画面：一家微型、爱慕的初创公司被困在一个繁盛的棚屋里，并试图打入腾达发展的半导体阛阓。但咱们是若何走到这一步的呢？ASM Lithography 的早期参与者是谁？他们为何联手组建这家新公司？
这个故事叙述了飞利浦的一个小技俩如安在快速发展的半导体生态系统的旯旮逗留，然后在行业和荷兰费尔德霍芬找到我方的位置。公司的配置是新事物的开动，同期亦然十年发展的延续。
1974 年，研究东谈主员集结在飞利浦研究院 NatLab 的 SIRE I 原型周围
01
产业的单干
在 20 世纪 60 年代和 1970 年代，芯片制造商在里面构建了绝大多数半导体价值链——制形制品微芯片所需的通盘设施。随后，在 20 世纪 70 年代末和 80 年代初，半导体制造技能的规模和复杂性快速增长。这种发展推动了半导体价值链的单干。半导体开垦行业的出现是为了提供现成的顶端处罚决策。有了这种现成的才调，芯片制造商和用户开发我方的芯片制造开垦就不再专诚念念道理。
专科开垦供应商关于开发用于在微芯片上打印图案的复杂光刻系统尤其重要。改进这些系统以便它们不错打印更小的特征是推动摩尔定律的枢纽。关于芯片制造商来说，更多的晶体管意味着以更低的老本得回更多的蓄意才调。
半导体生态系统的这种诊治在飞利浦等大型多元化公司的里面体现出来，这些公司需要用于多样家具和应用的芯片。他们的里面开垦开发提供了高尺度。然而，飞利浦里面组织不补助将其光刻技能纯熟到全行业竞争水平的敏捷性、安妥性和需求。违抗，像飞利浦这样的大公司剥离了制造开垦业务，以便在这些技能过时之前收成。
02
PAS 2000的雏形
恰是在这种布景下，飞利浦开动开发我方的晶圆步进机，用于对硅晶圆进行图案化。原型机Silicon Repeater (SIRE) I 和 II 由飞利浦研究中心开发。飞利浦自动步进机 (PAS:Philips Automated Stepper) 2000 从这些研究原型中降生。
1980年5月SIRE II原型机相片
在飞利浦研究中心，飞利浦的部门主要专注于基础研究，晶圆步进机有点反常。阛阓需求日益带动企业研发，工程制造装备应用较多。从 1978 年起，飞利浦科学与工业 (S&I) 部门以 PAS2000 的方式推动了贸易化办事。
从飞利浦研究中心滚动到 S&I 后，开发晶圆步进机成为实在的跨学科事务。两个部门的职工皆力推我方的视力和办事轨范。这种合作光显不错被视为迈向咫尺所谓的“系统工程”的第一步。
在硕大无比飞利浦里面，PAS 2000 技俩仅仅一项相称小的行动。尽管如斯，它如故遭受了时刻压力和老本增加。面对资源稀缺，时任 S&I 的副主任维姆·特鲁斯特 (Wim Troost) 应用个东谈主可目田垄断的预算来督察项见识运转。他还寻求飞利浦董事会和荷兰政府的进一步补助。
PAS 2000 的集成团队
S&I 接办该技俩后，Troost 等东谈主很焕发志到，外部客户的参与关于考证技能是不行或缺的。他们无力制造仅供飞利浦里面使用的 PAS 2000。淌若他们想制造我方的光刻系统，就必须与多个客户密切合作，将其贸易化。
03
产业政策、投资者和企业家
从 20 世纪 70 年代末开动，在欧盟委员会的带领下，西欧列国政府重塑了产业政策。他们专注于创新和合作，瞄准新兴行业，超越是快速发展的半导体行业和微电子行业。这些政策是促进经济行动的新妙技，淌若可能的话，不错重振堕入逆境的企业集团，其中很多企业（包括飞利浦）也曾开动分化判辨。
应委员会的要求，飞利浦和其他企业向各自政府抒发了这些行业的重要性。从欧洲最大的电子公司收到此音信后，荷兰政府对这一主题有了进一步的相识，并为他们的后续行径提供了依据。
不休飞腾的老本、全球竞争和技能跨越迫使大型企业剥离非中枢业务并再行诊治业务重心。关于飞利浦来说，其中一项行动即是他们的晶圆步进机。与此同期，新兴的风险投资公司和创业驱动的初创企业和规模化企业为工业增长提供了新的范式。
04
取得跨越的压力
1982 年头，飞利浦的光刻家具宏愿濒临要紧挑战。他们需要更多的工程资源。尽管他们找到了评估器具的外部客户 IBM，但能否在 1982 年夏天实时请托仍存在很大的省略情味。飞利浦研究中心的工程师立即伸出援手。S&I 高管常常拜访海牙和布鲁塞尔，寻求荷兰政府和欧盟委员会的罕见资金。
在时刻、资金和荷兰经济部的压力下，飞利浦 S&I 开动为其晶圆步进机寻找合作伙伴。这引致了与 Cobilt（一家制造掩模瞄准器和轨谈的公司）的初步商议，随后与光刻阛阓谄媚者 Perkin Elmer 进行了商议。
与此同期，荷兰经济事务部、飞利浦和一家成长中的荷兰公司 ASM International（或简称 ASM）之间张开了三方对话。在欧盟委员会新颖的微电子谋略 ESPRIT 的布景下，芯片公司对它们对好意思国开垦的依赖示意了担忧。为特出志行业需求，该部和 Arthur Del Prado 本东谈主提议将 ASM 看成潜在的处罚决策。
看成 ASM 的创举东谈主兼首席履行官，Del Prado 体现了新兴且流行的创业精神。他是半导体开垦领域的前驱，于 1958 年头度将硅从硅谷引入欧洲。随后，他于 1981 年在纳斯达克初度公开募股，引起了颠簸，这对荷兰公司来说尚属初度。Del Prado的远见和强劲通过展示高技术行业创业企业的变革后劲，推动他的公司风生水起。
这位企业家对飞利浦很感意思。他意志到大公司越来越多地通过剥离创新来缩小老本。这使得他们受东谈主尊敬的研究实验室成为事实上的“孵化器”。正如他在 1982 年 2 月所说：“我相称怀疑是否要负责奋力地与光刻领域的竞争敌手讲和，这样晚了，与该领域的大公司合作......除非这种情况与飞利浦这样的大公司全部发生......”尽管如斯，Del Prado 如故对飞利浦高管在创新方面合作的意愿示意怀疑。
几个月后，1982 年 10 月 7 日，Del Prado 了解到 PAS 2000 技俩。他以为与飞利浦合作可能是他参加利润丰厚且享有殊荣的光刻阛阓的门票。尔后不久，这位企业家抒发了 ASM 的合作意思。该部赞同Del Prado 的不雅点，指出这种伙伴关系对荷兰的潜在战术利益。这种伙伴关系可能会推动荷兰在微电子领域的才调。
05
寻求伙伴关系
然而，飞利浦以为 ASM 的地位太低，因此爱慕 Perkin Elmer。尽管Del Prado具有企业家精神并取得了到手，但飞利浦高管仍将 ASM 视为破落户。Perkin Elmer 是一家多元化的大型公司，领有广泛的光刻器具装置基础，被以为是更遒劲的合作伙伴。
意思是相互的。到 20 世纪 80 年代初，晶圆步进机比 Perkin Elmer 的 Micraligns 好像以可袭取的坐褥率对最小特征尺寸提供更多约束。在竞争加重的情况下，这家好意思国公司寻求飞快安逸其市状态位。
Perkin Elmer 正在磋商与 Philips S&I 或位于列支敦士登的初创公司 Censor 合作。他们更心爱飞利浦，事理是该公司的资源和 PAS 2000 的先进性。在拟议的合股企业中，Perkin Elmer 将弘扬主导作用，负责销售和服务。飞利浦将孝顺技能和制造才调。
然而，飞利浦犹豫是否授予其里面资源的拜访权限，举例处于附属地位的飞利浦研究中心。这种犹豫使谈判时刻过长，最终Perkin Elmer 与Censor合作。
06
工程紧迫性
到 1983 年，Philips S&I 的晶圆步进机团队由大要 50 名工程师构成，濒临着省略情味。他们将需要大要 1.2 亿荷兰盾（按刻下订价水平蓄意约为 2.45 亿欧元）来升级、坐褥和销售该机器。尽管 Troost 养精蓄锐、同舟共济地奋力，包括探索与瓦里安和松下的合作伙伴关系，但晶圆步进机小组如故来不足了。紧迫性了然于目。
受到关联 ASM 事迹的积极音信的饱读吹，S&I 技能总监 Georg de Kruyff 决定于 1983 年春天收复与 Arthur del Prado 的商议。在莫得什么可失去的情况下，他和一些共事参不雅了 ASM 位于荷兰比尔托芬的总部。Del Prado相称渴慕飞利浦的技能和合作伙伴关系，两边很快达成公约。
将光刻系统添加到其家具组合中将使 ASM 险些成为半导体开垦的一站式商店。这笔大批投资险些终点于 ASM 1982 年的全部收入。然而，飞利浦高管并不知谈，Del Prado正准备在 1983 年秋天之前在纳斯达克上市更多的 ASM 股票，资金不会成为问题。
07
ASML的开动
1983 年 9 月 5 日，飞利浦和 ASM 文告了组建合股企业的意向。在接下来的几个月里，他们完善了合作伙伴关系的细节。磋商了经济部或其投资器具的股份。就参加飞利浦研究中心进行了谈判。指定了什物和现款捐助。草拟了投资报恩谋略。一位攫金不见人、富余远见的新总司理 Gjalt Smit 上任。
重要的是，现存的 50 名飞利浦 S&I 职工得回了颇具诱导力的雇佣条件。但由于他们也曾在飞利浦办事了一辈子，他们以为合股企业是飞利浦钞票剥离的一种姿色。东谈主们不肯意对一家莫得阛阓准入且枢纽技能必须再行联想的初创企业抱有信心。尽管如斯，该小组仍有 47 东谈主签约。
飞利浦与ASML签署合股公司
1984 年 4 月 1 日，ASM Lithography 开动运营。它最初位于飞利浦 S&I 位于埃因霍温的 Strijp TQ 大楼。这家新颖的公司注入了新的资源和竞争性的轨范，正规平台重振了飞利浦进犯光刻阛阓的奋力。
ASML 在埃因霍温的第一个办事处
ASM Lithography飞出了起跑器（ASM Lithography flew out of the starting blocks）。该合股企业得到了补充资源、相对高度的自主权、飞利浦首先进的工程实践以及饱读吹东谈主心的技能和贸易挑战等综称身分的推动。它飞快增加了更多的职工，新职工的矜恤很快膨胀到本来的晶圆步进团队。
草拟了贸易谋略来升级 PAS 2000 的最大过错：其液压晶圆台（ hydraulic wafer stage）。尽管 Troost 不心爱在半导体洁净室中使用基于石油的技能，但他早在 1980 年就弃取了纯熟的技能，而不是更具创新性的电气阶段。即使在那时，很光显 PAS 最终需要进行当代化雠校。咫尺是时候让当代化早日成为实验了。
这家初创企业的规模很快就超出了其设施。通过添加一些不忻悦的棚屋，这个问题暂时得到了处罚。Veldhoven 被选为永恒总部所在地。一座地标性建筑突显了新公司的形象和承诺。
从一开动，ASML 就被视为创新驱动型企业家精神的体现，并有望确保荷兰改日的经济才调。年青的企业带着冲动和热忱，踏上了充满省略情味却又充满但愿的改日。
搬迁到 Veldhoven 可能是这个故事的收尾，但关于 ASML 来说这仅仅一个开动。早期在飞利浦外棚里的日子为 ASML 成长为咱们今天所知的公司奠定了基础。该团队富余创造力和决心，追求技能创新，冲破可能的极限。
08
起步卑微
基于 20 世纪 70 年代初以来的研发办事，同庚咱们推出了第一个系统：PAS 2000 步进机。
咱们发展飞快，飞利浦和 ASMI 扩大了投资，匡助 ASML 取获到手。1985 年，咱们带着 100 名职工搬进了位于 Veldhoven 新建的办公室和工场，距离飞利浦研究实验室仅几公里。1986 年，咱们将 PAS 2500 步进机推向阛阓，弃取新的瞄准技能，这将成为咱们机器改日很多创新的基础。同庚，咱们与镜片制造商卡尔蔡司建设了现存的合作伙伴关系。
ASML 在 Veldhoven 的第一座建筑
到了1988年，飞利浦在台湾建设了合股代工场后，咱们开动进犯亚洲阛阓。在好意思国，咱们的职工东谈主数从几名增加到 84 名，散布在五个办公场所。但在阛阓竞争热烈、供应商浩荡的情况下，这家来自荷兰的名不见经传的小公司却无法解围。
ASML的客户很少，无法独力重生。更厄运的是，推动ASMI无法督察高水平的投资，报恩甚微，决定退出，而全球电子行业状态因小见大，飞利浦文告了大规模的老本削减谋略。
咱们这家年青的、并吞现款的光刻公司的命悬一线悬而未决。出于对正在进行的研发的矍铄信念和重要需要资金的带领，ASML 高管研究了飞利浦董事会成员 Henk Bodt，后者劝服了他的共事伸出了终末的营救之手。
09
从伸出营救之手到初度公开募股
这笔投资得到了很好的应用。年内，咱们推出了冲破性平台 PAS 5500。PAS 5500 凭借其行业首先的坐褥力和区别率，诱导了 ASML 结束盈利所需的枢纽客户。这是走向纯熟的第一步。
PAS 5500 平台的早期告白
PAS 5500 是 ASML 成名的平台。在推出之前，ASML 在光刻阛阓上名交替三，逾期于巨头尼康和佳能。但PAS 5500平台的到手很快让ASML飞腾到了第二位，并为其成长为全球光刻机谄媚者奠定了基础。
PAS 5500 源自飞利浦研究东谈主员在 20 世纪 70 年代发起的一系列系统。该平台的称呼本人就体现了它的传统以及咱们与飞利浦的永恒合作关系：飞利浦自动步进器 (PAS)。
Ted Shafer 是 ASML 的永恒职工，现任纯熟家具销售司理，他的通盘这个词工作糊口皆与这一冲破性平台密切关系。
“我在 PAS 5500 推出的团结年加入了 ASML，即 1991 年，”Ted 回忆谈。“我的第一份办事是担任应用工程师，负责将有史以来第一批 PAS 5500 运载到位于好意思国菲什基尔的 IBM。我的职责是优化系统性能并匡助客户工场的新式系统达到坐褥级纯熟度。”
第一个 PAS 5500 系统以及 Ted 对其优化的奋力促使 IBM 推出了 System/390 系列，用他们的话来说，该系列在那时是“IBM 有史以来提供的最遒劲的蓄意机”。
凭借这些首先家具，ASML在1995年景为了一家透顶孤独的上市公司，在阿姆斯特丹和纽约证券交游所上市。飞利浦在初度公开募股中出售了一半的股份，并在接下来的几年中出售了剩余的股份。初度公开募股带来了进一步推动咱们增长的资金，咱们扩大了位于 Veldhoven De Run 的研发和坐褥设施，该设施自后成为咱们的新总部。
10
TWINSCAN 和浸没式技能铺平了谈路
2001年，咱们推出了TWINSCAN系统过头立异性的双阶段技能。这些系统在测量和瞄准下一个晶圆的同期曝光另一个晶圆，从而最大戒指地进步系统的坐褥率和准确性，从而进步客户的通盘权价值。
同庚，咱们完成了对Silicon Valley Group 的收购，进一步增强ASML在半导体技能跨越方面的才调。TWINSCAN AT:1150i 看成第一台浸入式机器于 2003 年头度亮相，随后是 TWINSCAN XT:1250i、XT:1400i，并于 2006 年推出第一台批量坐褥的浸入式机器 XT:1700i。
2007 年，咱们推出了数值孔径为 1.35 的 TWINSCAN XT:1900i 浸入式系统，这是业内最高规格的家具。借助这项新技能，咱们使客户好像通过透镜和晶圆之间的水层投射明后来坐褥更小的芯片特征。
2007 年晚些时候，咱们收购了 BRION，这是一家首先的半导体联想和制造优化处罚决策提供商。这是咱们“全体光刻”战术的开动。咱们将光刻系统的学问与优化光刻之前、期间和之后芯片制造工艺的技能相集合。咱们全体光刻战术早期阶段的另一个枢纽家具是 YieldStar，这是咱们的计量系统，可在芯片制造进程中提供实时测量和校正。第一个 YieldStar (250D) 于 2008 年请托给客户。
11
用EUV再次转换期间
2010年，咱们向亚洲芯片制造商的研究机构运载了第一台极紫外（EUV） 光刻器具原型（TWINSCAN NXE:3100），符号着光刻新期间的开动。EUV 光刻使用较短波长的光来制造更小的芯片特征，从而产生更快、更遒劲的芯片。
2013年，咱们收购了位于圣地亚哥的光刻光源制造商Cymer，以加快EUV的发展。同庚，咱们推出了第二代 EUV 系统 (NXE:3300)，随后于 2015 年推出了第三代 EUV 系统 (NXE:3350)。EUV 光刻技能在 2016 年迎来了转化，那时客户开动订购咱们的第一个坐褥就绪系统 NXE:3400 。在此期间，咱们不休进步浸没式光刻系统的性能，芯片行业的主力NXT1970Ci和NXT1980Di被装置辞天下各地的客户工场中。
2016 年，咱们收购了首先的电子束计量器具供应商Hermes Microvision (HMI) ，扩大了咱们的全体光刻家具组合。在咱们的共同奋力下，电子束图形保真度计量系统 (ePfm5) 于 2017 年头度发货。
继2018年总部位于荷兰代尔夫特的高技术公司Mapper清理后，ASML开心收购该公司的学问产权钞票 。
2020 年头，EUV 参增加数目坐褥，咱们庆祝了第 100 台 EUV 系统发货。但 2020 年的重要道理道理还在于另一个原因：新冠肺炎 (COVID-19) 大流行。咱们遍布天下各地的团队通过创新新方式辛勤补助客户、应用其专科学问 搪塞大流行病以及伸出援手补助当地社区，讲解了他们的安妥才和谐随性弘扬的才调。
2020年11月，完成了对Berliner Glas集团的收购 ，咱们肃肃接待Berliner Glas团队加入ASML环球庭。该集团的技能玻璃部门于 2021 年 4 月剥离给 Glas Tr?sch 集团 。
2023 年，咱们推出了第一套下一代 EUV 系统 ，其数值孔径高达 0.55（称为“高数值孔径”）。该平台称为 EXE，具有新颖的光学联想和光显更快的平台。
瞻望改日，ASML还将接续创造遗址。
https://www.asml.com/en/news/stories/2024/ASML-founding-story
https://www.asml.com/en/news/stories/2021/three-decades-of-pas-5500
https://www.asml.com/en/company/about-asml/history
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