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（原标题：深耕SAW三年，锐石创芯达成新冲破）
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转移通讯行业的发展离不开射频前端。射频前端动作无线流通的中枢组件，其性能径直关联到无线通讯信号的质料。射频滤波器是转移通讯射频前端的中枢部件之一，主要起到滤波、禁锢、选频等作用，其中申明义波滤波器由于具有体积小、性能优良、一致性高、且资本显贵优于体声波滤波器等优点，成为射频滤波器中商场界限最大、使用场景最为无为的一类滤波器。弥远以来，申明义波滤波器商场和技艺为好意思日巨头所把持，我国滤波器企业起步晚，资金、东谈主才和技艺均弥远处于逾期方位。经过近些年的发展，时于当天，国产化率水平已经较低，十分是模组用高端微型化家具更是险些空缺。
锐石创芯以PA为基石，履历从研发到量产出货的更正，家具通过了客户磨练并得到信托，十分是赢得了手机末端品牌客户的认同。在射频收发模组中，通讯频段越来越“拥堵”，尤其是Phase7 和Phase8 等5G家具。晶圆级封装的高性能申明义波滤波器因需与PA、LNA及开关进行SIP封装，成为了模组家具的瓶颈。为了达成射频家具中的金冠家具L-PAMiD研发及量产，锐石创芯于2021年运行了申明义波滤波器家具的计策布局。
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建筑
滤波器产线建筑技俩自运行后，于13个月之内完成从平场打桩到首台开采进厂，随后3个月内达成Normal SAW的得手通线，并于通线后6个月插足风险量产阶段。
工场占大地积120亩， 一期建筑面积2.3万平素米。现在已完成八寸半导体厂房次序建筑，远期不错守旧6万片/月高端申明义波滤波器芯片制造。
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工艺
锐石创芯申明义波滤波器产线凭借业界一流的开采与进修丰富的工艺团队，不停攻克Normal SAW与TC-SAW量产历程中的技艺难题。家具良率稳步提高，慢慢达到卓越水平。
Normal SAW高/低频名义态状及横截面
TC-SAW 谐振器测试弧线和Q值
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家具
锐石创芯聚焦高性能滤波器、多工器及关联模组家具的开发。通过自主研制微声滤波器联想平台，酿成从材料、谐振器结构到芯片联想的滤波器端到端研发能力，整合声学、电磁学、热力学等多物理场协同仿真方法。该平台不但不错达成滤波器小信号的高精度仿真，况兼具备大功率下滤波器芯片热散播模拟和非线性仿果真能力，为研制可哄骗在L-PAMiD模组中的高性能滤波器奠定了坚实的基础。
现在，在此基础上已推出了Normal-SAW/TC-SAW/ML-SAW技艺的多款家具。关联家具给与BD(Bare Die)/WLP(Wafer Level Package)/CSP(Chip Scale Package)三种封装方法，其中BD滤波器哄骗于DiFEM/L-DiFEM模组家具，WLP滤波器哄骗于L-PAMiD模组家具。CSP滤波器封装尺寸为1.1mm*0.9mm，CSP双工器封装尺寸为1.6mm*1.2mm，可哄骗于手机、物联网等界限。
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Normal SAW 工艺及家具质能
联系于其他两种SAW技艺，尽管Normal-SAW的Q值相对较低，仍因其具有明显的资本上风，被无为哄骗于经受滤波器或频率隔断较大的双工器频段。锐石创芯给与Normal-SAW 工艺推出了Band1/Band5双工器。其中Band1 Tx 带内IL典型值1.6dB，Rx 带内IL典型值1.8dB，在Tx频率段和RX频率段的禁锢度典型值鉴别为56dB和55dB；Band5 Tx 带内IL典型值1.4dB，Rx 带内IL典型值1.6dB，在Tx频率段和RX频率段的禁锢度典型值鉴别为55dB和57dB。
Band1双工器
Band5双工器
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TC-SAW 工艺及家具质能
比较Normal-SAW，TC-SAW具有更高的Q值和高优的频率温度相识性，但存在杂模遏制艰难、功率耐受力较差、工艺难度大等技艺挑战。锐石创芯现在已全面冲破TC-SAW联想与工艺难点，研制出具有自主常识产权的谐振器结构，在兼具横模遏制的同期达成了谐振器的高Q值。给与该技艺，锐石创芯推出了多款高性能滤波器及双工器芯片，包括Band1/Band3/Band8/Band20/Band28A/Band34+39等。其中：
Band1 Tx 带内IL典型值1.3dB，Rx 带内IL典型值1.4dB，在Tx频率段和Rx频率段的禁锢度典型值鉴别为60dB和60dB;
Band3 Tx 带内IL any 4.5M积分典型值1.6dB，Rx 带内IL any 4.5M积分典型值2.3dB，在Tx频率段和Rx频率段的禁锢度典型值鉴别为55dB和55dB;
Band8 Tx 带内IL典型值1.5dB，Rx 带内IL典型值2.1dB，在Tx频率段和Rx频率段的禁锢度典型值鉴别为55dB和57dB;
Band20 Tx 带内IL典型值1.2dB，Rx 带内IL典型值1.5dB，在Tx频率段和Rx频率段的禁锢度典型值鉴别为58dB和58dB;
Band28A Tx 带内IL典型值1.2dB，Rx 带内IL典型值1.5dB，在Tx频率段和Rx频率段的禁锢度典型值鉴别为58dB和58dB；
Band34+39 dual SAW 滤波器中Band34 带内IL典型值1.5dB，正规平台Band39 带内IL典型值1.4dB；
Band3双工器
Band8双工器
Band20双工器
Band28A双工器
Band34+39 dual SAW 滤波器
锐石创芯通过对大功率下滤波器应力场和热场仿真技艺、耐功率金属薄膜制备技艺、高详尽温补薄膜制备技艺的攻关，得手惩处了TC-SAW功率耐受能力差的难题。TC-SAW Tx滤波器50欧姆下的极限功率均达到33.5dBm以上，部分频段如Band20/Band28A/Band34+39达到了35dBm；6:1 VSWR下，功率耐受为32~33dBm。通过自研L-PAMiD的考据，关联家具均知足了模组功率耐受的条目。
Band34 滤波器极限功率测试弧线
Band39 滤波器极限功率测试弧线
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ML-SAW 工艺及家具质能
在三种技艺中，ML-SAW具有最高的Q值和频率温度相识性。因杂模的Q值也比较高，杂模遏制难度比TC-SAW更大。锐石创芯通过技艺立异，提议了具有自主常识产权的谐振器结构，达成了优异的横模遏制。给与该技艺推出了多款高性能滤波器及多工器芯片，抽象性能并列国外一活水平。具体家具包括Band1+3/Band40/Band41。其中：
Band 1+3四工器中Band1 Tx带内IL典型值1.3dB，Band1 Rx带内IL典型值1.3dB，Band3 Tx带内IL典型值1.6dB，Band1 RX带内IL典型值1.9dB，在Band1 Tx频率段和Rx频率段的禁锢度典型值鉴别为56dB和58dB，在Band3 Tx频率段和Rx频率段的禁锢度典型值鉴别为56dB和60dB；
Band40带内IL典型值1.50dB，带外遏制WiFi-CH05积分遏制典型值30dB;
Band41带内IL典型值1.85dB，带外遏制WiFi-CH10积分遏制典型值23dB。
Band1+3四工器测试弧线
Band40滤波器测试弧线
Band41滤波器测试弧线
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分娩与质料
尽人皆知在4G通讯系统哄骗前，申明义波滤波器的产业界限并不大。其虽给与半导体工艺，但在制程管控、分娩追忆性和量产界限等方面与半导体家具的条目差距很大。伴跟着申明义波滤波器在4G及5G手机末端的界限化需求，其分娩产线的管控条目等也慢慢与半导体家具趋同。
锐石创芯申明义波滤波器6吋晶圆分娩线，给与了业界顶级12吋自动化惩处决策，可达到晶圆级制程纵容。全程确保账实一致，开采菜单自动选拔率98%以上，分娩原料全程自动校验，严格确保分娩出货历程依规进行。配备开采参数检测、开采菜单参数检测等系统，确保分娩前开采处于追究景况；配备颓势侦测系统、历程统计系统和制程参数自动调遣系统，确保分娩中开采和家具参数相宜条目；配备电学不良侦测系统和影像不良侦测系统，确保出货色质达到预设野心。同期，开采的着迷性保重和报警管控、物料的流转、分娩环境的监测均纳入系统管制，作念到“严进严出”、“历程可控”、“全程追忆”，每一派晶圆的分娩历程在系统管控下，均有翔实记载。
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追思
历时三年，锐石创芯申明义波滤波器家具线已完成从0到1的冲破。不管是顶层的联想平台建筑及家具联想，如故从工艺买通到相识流片的分娩历程，亦或是良率攻关到产出等分娩效果，锐石创芯申明义波产线均具备了追究的基础，蓄势待发。在达成L-PAMiD家具之路上，申明义波滤波器产线已在劈波挥桨悉力拼搏中。后续著作将展示L-PAMiD家具质能，敬请期待。
锐石创芯
锐石创芯是一家专注于4G、5G射频前端分立器件及模组的研发、制造及销售的高新技艺企业，同期亦然国度级专精特新小巨东谈主企业。公司具备射频前端家具所需全系列芯片的联想及模组化能力，并计策布局滤波器晶圆制造。公司家具无为哄骗于智妙手机、物联网及智能衣着开采等界限。
锐石创芯配置于2017年，总部位于深圳，在上海、重庆、成齐、韩国均设有分支机构。自创立以来，锐石创芯坚握“科技创芯+国产替代”计策，在积极探索射频前端中枢器件国产化决策的同期，通过握续技艺研发，在芯片联想、模组集成决策联想、封装测试等门径均酿成了较强的中枢技艺上风，并对滤波器联想、制造、封装测试等门径进行了多方面布局，为公司不停开发及迭代高品质射频前端家具积聚了填塞势能。公司已不息推出4G Phase2， 5G Phase5N， Sub6G L-PAMiF， Sub3G L-PAMiD， WiFi FEM， 滤波器，射频开关，天线调谐开关 (Antenna Tuner)， LNA Bank， 分集经受模组DIFEM， L-FEM等射频前端家具，以知足国表里商场对射频前端家具的雄壮需求。
锐石创芯领有由多名博士教唆的高水平、高教导联想团队，已取得授权专利二百余项。公司已取得深圳市技艺攻关重心技俩、深圳市新一代信息技艺产业扶握策画技俩及国度、省、市级东谈主才技俩等技俩的守旧。
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